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集成電路制造工藝項目化實踐 版權信息
- ISBN：9787564399818
- 條形碼：9787564399818 ; 978-7-5643-9981-8
- 裝幀：平裝-膠訂
- 冊數：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>>
集成電路制造工藝項目化實踐 內容簡介
本書為高等職業教育產教融合新形態教材，系成都職業技術學院中國特色高水平專業群產教融合項目建設成果之一。本書內容深度對接行業、企業標準，緊扣集成電路技術專業人才培養能力目標，共分為5個項目13個任務，具體介紹了單晶硅制備工藝、硅襯底制備工藝、薄膜制備工藝、光刻工藝、刻蝕與離子注入工藝等內容。本書內容選取重點突出行業性、實用性、科學性和操作性，適用于高職高專院校集成電路技術、微電子技術、應用電子技術、電子信息工程等相關專業學生學習。
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