��1�� ���(q��)�w�մɰl(f��)չ�vʷ��� 1.1 ���w�u�� 1.2 �l(f��)չ�vʷ 1.3 �����īI��2�� ���(q��)�w�ۺ���ĺϳ��c���|(zh��) 2.1 ���(q��)�w�ۺ���Ļ��W(xu��)�O(sh��)Ӌ 2.1.1 ������(q��)�w 2.1.2 al�����(q��)�w 2.1.3 �ЙC��ۺ����մ����(q��)�w 2.2 ���(q��)�w�ۺ������׃�W(xu��) 2.2.1 ���� 2.2.2 ��ʎ������׃ 2.2.3 ����߹ີ���׃�W(xu��) 2.2.4 ���z-���z��׃�W(xu��) 2.2.5 �Y(ji��)�Z 2.2.6 �����īI 2.3 �ۺ���-�մ��D(zhu��n)���^�� 2.3.1 ���� 2.3.2 ��“(li��n)�^�� 2.3.3 �մ��D(zhu��n)������^�� 2.3.4 �Y(ji��)�Z 2.3.5 �����īI��3�� ΢�^�Y(ji��)��(g��u)����׃�c���� 3.1 ���� 3.2 ΢�^�Y(ji��)��(g��u)�ͱ������g(sh��) 3.3 sicn�wϵ 3.3.1 �ۺ���Y(ji��)��(g��u)������x 3.3.2 �����϶������ 3.3.3 ���W(xu��)Ӌ��sicn 3.3.4 ����(f��)�s��ϵ�y(t��ng) 3.4 sibcn�wϵ 3.4.1 ��Փ˼�� 3.4.2 �ߜ����� 3.5 sico�wϵ 3.5.1 ���W(xu��)Ӌ��sico 3.5.2 ����sico 3.5.3 ����sico�еĔUɢ 3.5.4 ��̼sico 3.5.5 ���͸�̼sico�{�׏�(f��)�ϲ��� 3.6 �Ǿ�sico�Ľ�ģ���� 3.6.1 ģ�M�^�̺��� 3.6.2 Ӌ�㷽�� 3.6.3 ģ�M�Y(ji��)�� 3.6.4 �Y(ji��)��(g��u)ģ�M��̽ӑ 3.6.5 ģ�M�Y(ji��)�����Y(ji��) 3.7 �Y(ji��)�Z 3.8 �����īI��4�� ���� 4.1 �᷀(w��n)���ԣ��ֽ�ͽY(ji��)�� 4.1.1 ���� 4.1.2 �����W(xu��)���� 4.1.3 �˻��^���е��|(zh��)���pʧ 4.1.4 �˻��T��(d��o)�ĽY(ji��)��(g��u)�D(zhu��n)׃ 4.1.5 �Y(ji��)�Z 4.1.6 �����īI 4.2 ���W(xu��)���� 4.2.1 ���� 4.2.2 ���� 4.2.3 ��׃���Ⱥ�𤏗�� 4.2.4 ���ۜyԇ 4.2.5 �����О� 4.2.6 ���� 4.2.7 �����īI 4.3 ��W(xu��)���|(zh��) 4.3.1 ���� 4.3.2 �ɺ�si-h�I�����z-���z���(q��)�w�ϳ�͸���K��sico�����մ� 4.3.3 ���м{��si��sic΢����sico͸�������մɉK�w 4.3.4 sico�l(f��)�ⱡĤ 4.3.5 siocn��sicn���(q��)�w�մɵĹ��°l(f��)������ 4.3.6 �����īI 4.4 늌W(xu��)���� 4.4.1 ���� 4.4.2 pdc늌W(xu��)���ܵ��о� 4.4.3 si-c-n�wϵ�����ضȡ�΢�^�Y(ji��)��(g��u)�����x̼������Ӱ� 4.4.4 si-o-c�wϵ�����ضȡ�΢�^�Y(ji��)��(g��u)�����x̼������Ӱ� 4.4.5 �Ǿ�pdc�Č�(d��o)늙C�� 4.4.6 ���x̼������ 4.4.7 ���������� 4.4.8 �Y(ji��)�Z�cչ�� 4.4.9 �����īI 4.5 ������ 4.5.1 ���� 4.5.2 ���F�մ� 4.5.3 ���@�մ� 4.5.4 ����մ� 4.5.5 �Y(ji��)�Z 4.5.6 �����īI 4.6 ���д߻������ĺ��������(q��)�w 4.6.1 ���� 4.6.2 ���д߻����Ե����(q��)�w�մɵ�Ҫ��ͺϳ�˼· 4.6.3 �ɻ��W(xu��)�������(q��)�w�Ƃ�ĺ��������(q��)�w�մ� 4.6.4 �Y(ji��)�Z�cչ�� 4.6.5 �����īI 4.7 ���(q��)�w�D(zhu��n)���մɵ������О� 4.7.1 ���� 4.7.2 ���ϵĎ׺��ΑB(t��i)�͌�򞲽�E 4.7.3 si-c�wϵ 4.7.4 si-c-o�wϵ 4.7.5 si-��x��-c-n-��o���wϵ 4.7.6 si-��x��-b-c-n�wϵ 4.7.7 �Y(ji��)�Z 4.7.8 �����īI��5�� �ӹ��͑�(y��ng)�� 5.1 ���ơ��D����ע�ܳ��� 5.1.1 ���� 5.1.2 ���Ƴ��� 5.1.3 �A(y��)̎������“(li��n)�̶Ⱥ����(q��)�w��ĩ���w���ߴ� 5.1.4 ���ƅ���(sh��) 5.1.5 �D������ 5.1.6 ע�ܳ��� 5.1.7 ���(q��)�w�ۺ����еĘ�֬���f���� 5.1.8 �����īI 5.2 �����wϵ�����w�M�ֺͼ{�׏�(f��)�ϲ��ϣ� 5.2.1 ���� 5.2.2 ���ϵ���ͺ����� 5.2.3 ����wϵ�ļӹ� 5.2.4 ���ܼ���(y��ng)�� 5.2.5 �Y(ji��)�Z 5.2.6 ���x 5.2.7 �����īI 5.3 �w�S 5.3.1 ���� 5.3.2 �մ��w�S�Ƃ似�g(sh��) 5.3.3 ���� 5.3.4 ���������մ��w�S���Ƃ��c���� 5.3.5 �Y(ji��)�Z��չ�� 5.3.6 �����īI 5.4 Ϳ�� 5.4.1 ���� 5.4.2 Ϳ�Ӽ��g(sh��) 5.4.3 ���(q��)�w�D(zhu��n)����Ϳ�ӵ��Ƃ� 5.4.4 ���(q��)�w 5.4.5 ���ϵ����� 5.4.6 ���ף����Ϻ���ò 5.4.7 �Y(ji��)�Z 5.4.8 �����īI 5.5 ���^ 5.5.1 ���� 5.5.2 ���^���Ƃ� 5.5.3 ���ϵ��xȡ 5.5.4 ���ͷ��� 5.5.5 ���^��� 5.5.6 ���ϵ�ʹ�� 5.5.7 ��ӹ���ˇ 5.5.8 �Y(ji��)�Z 5.5.9 �����īI 5.6 �߶ȶ�׽M�� 5.6.1 ���� 5.6.2 �߶ȶ�׽M�����Ƃ� 5.6.3 ���(q��)�w������մɵ����ܔ�(sh��)��(j��) 5.6.4 �����īI 5.7 Ĥ 5.7.1 �����īI 5.8 ��(f��)�ϲ����Ƃ��Լ��մɻ���(f��)�ϲ��ϣ�cmc�� 5.8.1 ���� 5.8.2 ��(g��u)���մɻ���(f��)�ϲ��� 5.8.3 �����մ����(q��)�w�ۺ��� 5.8.4 ��(f��)�ϲ��ϵ��Ƃ� 5.8.5 �����īI 5.9 ΢�ӹ���΢�{�C�ϵ�y(t��ng)��mems/nems�� 5.9.1 ���� 5.9.2 ƽ��ӡˢ��̼��g(sh��) 5.9.3 �{�׉�ӡ��ܛ���g���g(sh��) 5.9.4 ë����΢���ͺ�΢�D(zhu��n)�Ƴ��� 5.9.5 ģ�����g(sh��) 5.9.6 ΢�T�� 5.9.7 �������� 5.9.8 �Y(ji��)�Z 5.9.9 �����īI 5.10 �ߜظ߉��l���µĺϳ� 5.10.1 ���� 5.10.2 �߉����g(sh��) 5.10.3 �ɷ��ӻ�ۺ������(q��)�w�߉��ϳ��²��� 5.10.4 �����īI 5.11 �dz�Ҏ(gu��)��̎�� 5.11.1 ���� 5.11.2 ������ 5.11.3 ΢���ѽ� 5.11.4 �x��ݗ�� 5.11.5 �̑B(t��i)���w���� 5.11.6 ���(q��)�w�ۺ��������τ��;ۺ���ԇ�� 5.11.7 �մɷ�ĩ���մɎ� 5.11.8 �����īI��6�� *���Mչ�cδ��չ�� �����īI