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微機電系統原理 版權信息
- ISBN：9787118094329
- 條形碼：9787118094329 ; 978-7-118-09432-9
- 裝幀：一般膠版紙
- 冊數：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>>
微機電系統原理 本書特色
微機電系統（mems）技術研究主要針對微小系統，它在汽車、無線電話、數碼相機以及醫療設備等方面都有著廣泛的應用。李基邦編著的這本《微機電系統原理》通過作者研究以及參考其他有價值的文獻，針對mems提出了統一法和封閉形式解方法，便于讀者更好地理解mems中的線性和非線性問題，以及開展相關應用設計。 全書共分九章，**章為緒論部分，介紹了微機電系統的量綱分析法。第二章介紹了微制造技術。第三章為微機電系統在靜力平衡條件下的靜力學分析。第四章為微結構的靜力性能分析。第五章為微機電系統動力學分析。第六章為微機電系統流體力學分析。第七章介紹mems設計中涉及的基于電磁學的基本方程。第八章和第九章介紹如何通過mems組件的組合設計具有特定功能的驅動器或傳感器。
微機電系統原理 內容簡介
本書通過統一的方法和閉合解析法解決微機電問題中的微機電系統原理。首先對宏觀和微觀世界的基礎無量綱參數進行了量綱分析，同時還介紹了微機電系統相關的精密加工技術。此外本書還介紹了靜力平衡狀態下靜力學/力學和力矩對機械結構的影響、靜態結構中的機械原理、適用于微機電系統電氣性質的電磁學基本方程以及從制動器到特殊用途的傳感器在內的微機電系統構建模塊的整合等內容。
微機電系統原理 目錄
第1章 引言
1.1 微機電系統
1.2 耦合系統
1.3 所需知識
1.4 量綱分析
習題
第2章 微制造
2.1 體微加工和表面微加工
2.2 光刻
2.3 層沉積工藝
2.4 刻蝕法
2.5 制造工藝設計
習題
第3章 靜力學
3.1 靜力平衡
3.2 壓-張關系
3.3 熱應力
3.4 扭轉力矩作用下梁的性能
3.5 力矩-曲率之間的關系
3.6 梁方程
3.7 加勒金法
3.8 能量法
3.9 梁問題的能量方法
習題
第4章 微結構的靜力性能
4.1 微結構的元件
4.2 通用梁的剛度
4.3 桿系
4.4 剛度變換
4.5 平面結構的靜力性能
4.6 殘余應力
4.7 結構的立方力
4.8 勢能
4.9 勢能間的相似性
習題
第5章 動力學
5.1 三次方程
5.2 運動的描述
5.3 動態支配方程
5.4 勢能和動能之間的能量轉換
5.5 無阻尼自由振動系統
5.6 阻尼系統的振動
5.7 多自由度系統
5.8 連續系統
5.9 有效質量、阻尼和剛度
5.10 具有重復結構的系統
5.11 達芬方程
習題
第6章 流體動力學
6.1 黏性流
6.2 連續方程
6.3 納維-斯托克斯方程
6.4 雷諾方程
6.5 庫埃特流動
6.6 流體中的振動板
6.7 蠕動流
6.8 擠壓膜
習題
第7章 電磁學
7.1 電路的基本元件
7.2 基爾霍夫電流定律
7.3 靜電學
7.4 由電場產生的力和力矩
7.5 作用于各種物體的靜電力和力矩
7.6 電磁力
7.7 作用在電場和磁場中運動電荷上的力
7.8 壓阻
7.9 壓電性
習題
第8章 壓電和熱力驅動器
8.1 組合梁
8.2 壓電驅動器
8.3 熱力驅動器
習題
第9章 靜電驅動器和電磁驅動器
9.1 電磁驅動器
9.2 梳驅動的驅動器
9.3 平行板驅動器
9.4 扭轉驅動器
9.5 兩端固定梁驅動器
9.6 懸梁驅動器
9.7 間隙接近驅動器的動態響應
9.8 間隙接近驅動器的近似
9.9 電磁驅動器
習題
第10章 傳感器
10.1 力和壓力傳感器
10.2 加速度計
10.3 靜電加速度計
10.4 振動陀螺儀
10.5 其他結構
習題
附錄
參考文獻
1.1 微機電系統
1.2 耦合系統
1.3 所需知識
1.4 量綱分析
習題
第2章 微制造
2.1 體微加工和表面微加工
2.2 光刻
2.3 層沉積工藝
2.4 刻蝕法
2.5 制造工藝設計
習題
第3章 靜力學
3.1 靜力平衡
3.2 壓-張關系
3.3 熱應力
3.4 扭轉力矩作用下梁的性能
3.5 力矩-曲率之間的關系
3.6 梁方程
3.7 加勒金法
3.8 能量法
3.9 梁問題的能量方法
習題
第4章 微結構的靜力性能
4.1 微結構的元件
4.2 通用梁的剛度
4.3 桿系
4.4 剛度變換
4.5 平面結構的靜力性能
4.6 殘余應力
4.7 結構的立方力
4.8 勢能
4.9 勢能間的相似性
習題
第5章 動力學
5.1 三次方程
5.2 運動的描述
5.3 動態支配方程
5.4 勢能和動能之間的能量轉換
5.5 無阻尼自由振動系統
5.6 阻尼系統的振動
5.7 多自由度系統
5.8 連續系統
5.9 有效質量、阻尼和剛度
5.10 具有重復結構的系統
5.11 達芬方程
習題
第6章 流體動力學
6.1 黏性流
6.2 連續方程
6.3 納維-斯托克斯方程
6.4 雷諾方程
6.5 庫埃特流動
6.6 流體中的振動板
6.7 蠕動流
6.8 擠壓膜
習題
第7章 電磁學
7.1 電路的基本元件
7.2 基爾霍夫電流定律
7.3 靜電學
7.4 由電場產生的力和力矩
7.5 作用于各種物體的靜電力和力矩
7.6 電磁力
7.7 作用在電場和磁場中運動電荷上的力
7.8 壓阻
7.9 壓電性
習題
第8章 壓電和熱力驅動器
8.1 組合梁
8.2 壓電驅動器
8.3 熱力驅動器
習題
第9章 靜電驅動器和電磁驅動器
9.1 電磁驅動器
9.2 梳驅動的驅動器
9.3 平行板驅動器
9.4 扭轉驅動器
9.5 兩端固定梁驅動器
9.6 懸梁驅動器
9.7 間隙接近驅動器的動態響應
9.8 間隙接近驅動器的近似
9.9 電磁驅動器
習題
第10章 傳感器
10.1 力和壓力傳感器
10.2 加速度計
10.3 靜電加速度計
10.4 振動陀螺儀
10.5 其他結構
習題
附錄
參考文獻
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